| 基于光谱仪的离子刻蚀终点检测装置及应用其的刻蚀系统 |
| CN201911422790.1 2019-12-30 发明申请 |
| 2020-4-28 |
| 一种基于光谱仪的离子刻蚀终点检测装置及应用其的刻蚀系统，基于光谱仪的离子刻蚀终点检测装置包括：光学探头，用于收集样品表面经离子轰击引发的光；光谱仪，通过光纤与光学探头相连；光谱仪用于探测并处理光学探头收集的光，得到收集的光的光谱；处理器，用于对收集的光的光谱进行数据处理，得到样品对应判定元素的光谱图；其中，通过监测所述样品对应判定元素的光谱图中特征峰的存在与否来判断是否达到样品离子刻蚀终点。本发明基于光谱仪进行离子刻蚀终点检测，而非质谱仪进行分析，可以探测到刻蚀样品，进行精准分析；且不同于质谱分析法的复杂结构难安装，本发明使用光学探头、光谱仪及其光纤附件结构简单，安装使用方便。 |
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