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使用质谱仪测量含卤素氟化物气体中氟气浓度的方法

US17608527 2020-11-12 发明申请

2022-7-14

一种使用具有含卤素氟化物气体供给源的分析装置测量含卤素氟化物气体中的氟气(F2)浓度的方法，一种含氟气体供给源，管，毛细管和质谱仪，该方法包括在测量氟气体浓度之前，使用包含从含氟气体供给源供给的含氟气体的钝化气体对管和毛细管进行钝化处理。