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用于半导体结构质量评估的检验系统及检验流程

DE102018212403 2018-7-25 发明申请

2020-1-30

检验系统(1)用于鉴定半导体结构。所述检查系统具有离子束源(2)，用于利用离子束(3)空间分辨地曝光待检验的结构。进一步地，提供了包括质谱仪(13)的二次离子检测装置(12)。质谱仪(13)能够测量给定带宽中的离子质荷比。