| 舱门气压调整装置 |
| CN202010936848.0 2020-9-8 发明申请 |
| 2020-12-18 |
| 本发明公开了一种舱门气压调整装置，包括质谱仪本体、靶板、升降机构、可开合的舱门、导气组件和抽真空组件，其中，质谱仪本体内部设置有相互连通的真空腔体和过渡腔体，靶板和升降机构设于真空腔体的内部，升降机构用于驱动靶板上升或下降，当升降机构将靶板升起并置于过渡腔体与真空腔体之间时，过渡腔体与真空腔体相互独立；舱门设于质谱仪本体上且位于过渡腔体的一侧，舱门用于封盖或打开过渡腔体；导气组件和抽真空组件均与过渡腔体连通，导气组件用于向过渡腔体内部导入气体，抽真空组件用于对过渡腔体内部进行抽真空。根据本发明的舱门气压调整装置，便于在不破坏质谱仪的真空环境的情况下，实现样品的放入与取出。 |
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