一种用于电离区与检测区之间气压的快速隔离装置
 
CN201811411843.5  2018-11-25  发明申请

2020-6-2
 
  本发明涉及质谱分析仪器,具体的说是一种用于电离区与检测区之间气压的快速隔离装置。具体结构包括VUV灯、电离源腔体、隔离装置、挡板阀、真空计和真空泵。电离源腔体内部沿VUV灯出射方向分别有样品分子进样管、电极组、四氟绝缘环组、Skimmer电极和隔离板,所有电极均为中间圆孔的平板结构,并且平行、同轴、绝缘放置。本快速隔离装置以圆环可移动密封式结构,将电离区与检测区之间气压进行隔离,分开电离区与检测区之间气压压差。该新型快速隔离装置技术大大提高了拆卸质谱分析仪器的电离区装置的效率,更便捷的检查维护及更换电离区组件,在质谱分析仪器结构设计及合理拆装结构具有广阔的应用前景。
 
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