| 萃取系统中使用的质谱仪或充电后的二次颗粒等带电粒子的装置 |
| CA3012283 2017-2-17 发明申请 |
| 2017-8-24 |
| 本发明涉及用于二次离子质谱仪，其包括萃取系统。该系统(18)包括 : 内球形偏转扇区(42)；外球面偏转扇区(44)；偏转之间形成间隙(46)的扇区(42；44)；壳体(38)中的扇区(42；44)设置。偏转扇区(42；44)被偏置在减速电势，以减少能量的离子束(16)进入偏转间隙(46)。该系统(18)还包括一个出口圆盘电极(64)的出口孔(66)为中心围绕出口轴(24)，所述的中间电极(64)的电压之间的中间电压被偏置在所述壳体(38)和平均扇区(42；44)的电压。所述二次离子的轨迹变得更平行于所述出口(24)和变得更接近所述轴线。 |
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