| 在微电子系统中用化学检测识别预测性故障的质谱法 |
| WOUS21064802 2021-12-22 发明申请 |
| 2022-7-7 |
| 本发明总体上涉及用于分析电子仪器的操作状态的系统和方法。 在某些实施例中， 本发明提供了一种系统，该系统包括：采样模块，其以采样模块接收从电子仪器发射的蒸汽的方式可操作地耦合到电子仪器； 取样模块包括电离源和一个或多个质量分析器，从而产生蒸汽中一种或多种分析物的化学特征； 以及分析模块，其可操作地耦合到所述采样模块，以接收所述蒸气中的所述一种或多种分析物的化学特征，并将所接收的化学特征与已知化学特征的数据库进行比较，从而确定所述电子仪器的操作状态。 |
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