| 质谱仪分压校准系统 |
| CN202123335712.3 2021-12-28 实用新型 |
| 2022-7-1 |
| 本实用新型提供一种质谱仪分压校准系统，包括进气系统、抽气系统、压强与离子电流测量系统，所述压强与离子电流测量系统分别与所述进气系统、所述抽气系统相连通，且所述进气系统和所述抽气系统相连通；所述进气系统用于为所述压强与离子电流测量系统提供所需压强的校准气体；所述抽气系统用于为所述进气系统提供低压环境，为所述压强与离子电流测量系统提供所需的真空环境；所述压强与离子电流测量系统用于同时测量真空腔体压强与此压强下所述校准气体对应的离子电流。本实用新型的质谱仪分压校准系统的结构简便、成本低廉、测量准确度可控，在质谱仪研究生产企业具有很好的推广应用前景。 |
微信公众号