| 用于校正由像差引起的像差的方法和具有校正装置的显微镜 |
| DE102019118446 2019-7-8 发明申请 |
| 2021-1-14 |
| 光学系统像差引起的像差校正， 它具有物镜(14)和自适应光学系统(18)， 选择光(5)和样品(20)，使得当光(5)作用于样品(20)时，减少来自样品(20)的测量信号(28)，其中测量信号(28)的相对变化取决于光(5)的强度。 在第一和以后的第二时间段(38.37)上确定来自样品(20)中的光学系统的焦点范围的测量信号(28)，以确定第一和第二测量值。 经由与第一和/或第二时段重叠的第三时段(39)，光(5)用光学系统聚焦到聚焦区域中。 根据第一和第二测量值，确定用于测量信号(28)的相对变化的测量值，并且当自适应光学器件(18)作为待优化的度量时确定测量值。 |
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