| 一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法 |
| CN202210125281.8 2022-2-10 发明申请 |
| 2022-6-24 |
| 本发明涉及一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法，浸没透镜设置于二次离子质谱仪内，包括衬底圆盘、第一电极组件和绝缘安装组件，衬底圆盘用于作为第二电极，衬底圆盘上设置有安装槽，安装槽用于安装第一电极组件；衬底圆盘连接正电压，第一电极组件连接负电压，或者，衬底圆盘连接负电压，第一电极组件连接正电压，两电极间产生弧形电场。该方法将一次离子束通过衬底圆盘上的离子入射孔轰击样品表面，使得样品表面逸出二次离子，通过两电极间的弧形电场使二次离子产生偏转，使得二次离子聚焦一点。本发明结构简单，最大程度收集到二次离子，得到更强的离子束信号，方便后续的采集分析，并能够实现离子能量，离子方向双聚焦。 |
微信公众号