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使用质谱法监测自由基颗粒浓度

US17644704 2021-12-16 发明申请

2022-6-23

一种监测系统检测和测量气体中的自由基颗粒的量。测试室连接到传输气体的流动通道。测试室限定了连接测试室和流动通道的孔，该孔允许气体的子集从流动通道进入测试室。离子发生器位于测试室内，并从气体子集的自由基颗粒产生自由基离子。质谱仪测量游离基离子的量，从而提供对气体中游离基颗粒的测量。