| 扫描探针显微镜及Z驱动装置 |
| JP2019120245 2019-6-27 发明申请 |
| 2021-1-14 |
| [问题]在扫描探针显微镜等中，能够抑制试样的变形。 [解决方案]在扫描探针显微镜10中， 探头38， 38和样品探针1中的另一个， 在X轴方向和垂直于X轴方向的Y轴方向上移动XY驱动单元30， 38和相对于样品探针1中的另一个， 与垂直于轴向驱动装置的轴向X和Y正交，用于移动Z轴向32和1Z， 驱动装置为1Z，电压被施加到压电元件，并且通过具有保持至少3点的基底的第一Z1，1第一压电元件在轴向上收缩。 图1[附图] |
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