| 一种二次离子质谱仪中的样品观察装置 |
| CN202210070969.0 2022-1-21 发明申请 |
| 2022-6-14 |
| 本发明涉及一种二次离子质谱仪中的样品观察装置。本发明所述的样品观察装置包括圆盘,所述圆盘上设有观察孔、光入射孔、贯穿孔和遮挡机构,所述观察孔内设置有导光柱;所述光入射孔和所述观察孔分别贯穿所述圆盘,所述光入射孔形成贯穿所述圆盘的第一导光路径,所述观察孔形成贯穿所述圆盘的第二导光路径,所述第一导光路径与所述第二导光路径延伸至所述圆盘下方的部分形成交叉区域,该交叉区域用于放置样品;所述遮挡机构包括依次连接的操作部、连接部和遮挡部,所述操作部能够可操作的通过所述连接部,并带动所述遮挡部遮挡或暴露所述观察孔。本发明所述的样品观察装置结构简单,能够有效观察样品以及样品表面二次离子的逸出情况。 |