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电子显微镜
JP2020507236 2018-3-23 发明申请
2021-1-14
本发明的目的是,以连续的斜率,更快的速度和高倍率获得电镜图像的技术。 本发明是一种扫描电镜, 电镜固定在机体上, 具有可滑动地接纳球形支点保持器1的球形表面的第一端, 设有球面镜, 第二球面镜,设置在容器2的外侧; 带有, 第一接触部分的球形部分2在球形轴承中, 第一球面轴承的球面部分2滑动,第一滑轨沿球面轴承1的球面中心轴线设置,通过位移可以减少样品从焦点位置的逃逸。
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