| 质量分析装置 |
| CN202110835421.6 2021-7-23 发明申请 |
| 2022-5-31 |
| 本发明所涉及的质量分析装置抑制在离子源中发生的充电，减轻装置的维护作业的负担。本发明的质量分析装置的一方案是具备将试样气体所包含的成分离子化的离子源的质量分析装置，离子源(3)具备：离子化室(30), 具有离子射出口(301)，在其内部形成有与外部大致分隔的空间；反射电极(31)，设置于离子化室内，用于形成将在该离子化室生成的离子通过离子射出口向外部推出的推出电场；电压产生部(7)，对反射电极选择性地施加用于形成推出电场的第1电压、和用于形成充电消除电场的绝对值大于第1电压的正极性的第2电压。 |
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