| 质谱分析系统 |
| CN202123000603.6 2021-12-1 实用新型 |
| 2022-6-7 |
| 本实用新型提供了质谱分析系统，所述的质谱分析系统包括离子源和真空装置，所述的离子源包括电极，所述的真空装置包括进样口、串联的多级真空腔和泵；所述的真空装置还包括密封罩具有移动件和允许所述的离子源的管道穿过的开口，所述的移动件用于封闭和打开所述开口，所述的密封罩用于环绕所述的进样口；承载装置具有允许所述的离子源移动的导轨；所述的离子源还包括腔体和盖体，所述的盖体具有管道，所述的管道的内部与腔体的内部连通，所述的电极设置在所述的管道内；所述的管道的中心轴线和所述的进样口的中心轴线间的距离小于R3+R2，R3是所述的管道的内径。本实用新型能耗低、成本低等优点。 |
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