| 质谱仪中的电子束源 |
| JP2018100057 2018-5-24 发明申请 |
| 2019-11-28 |
| [问题]为了减少由于腐蚀性气体等引起的降解， 在这种情况下，元件可以消除在分析过程中产生的细丝的断裂，除了可以保持热电子发射点恒定外，用于质量分析的质谱仪的电子源的性能也是恒定的。 在具有低功函材料的材料中烧结金属电子发射[A]或用电子发射材料(40)浸渍低功函金属包含在片状烧结外表面(41)中， 42)用于支撑导电构件的一端和一对相对部分被固定， 一对支撑件的另一端(31a，31b)和固定到导电构件上的一对电极，以及通过电子发射材料从电极支撑的导电构件被激励电子发射材料以用于加热芯片。 图3[附图] |
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