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混合气体团簇离子束发生器及包括该发生器的质谱仪

KR1020200155638 2020-11-19 发明授权

2021-9-27

如权利要求1所述的装置，其中所述混合气体簇离子束产生装置包括2种气体和1种气体与气体的混合物的混合气体。集束喷嘴，用于将从喷嘴室引入的气体喷射成集束形式。电离部分，用于电离由团簇喷嘴喷射的气体团簇。在电离气体簇中形成电位差。离子化气体簇可被加速以包括向外发射离子束的离子加速器。