| 一种电镜真空转移台 |
| CN202010767186.9 2020-8-3 发明申请 |
| 2021-1-8 |
| 本发明公开了一种电镜真空转移台，包括电机驱动模块、真空腔室密封模块、扫描电镜和电气控制模块。扫描电镜安装在真空腔室密封模块中，电气控制模块对电机驱动模块进行驱动控制，电机驱动模块用以控制真空腔室密封模块的开启和密闭。在真空手套箱中将对空气敏感的样品，放到真空转移台上，完成对样品的密封，避免与空气接触反应，然后将其安装到扫描电镜中，待其设备完成抽真空后，打开真空转移台，使样品位于扫描探头下，完成对样品的扫描拍摄或FIB制取透射电镜样品后，关闭真空转移台将样品密封，取出真空转移台放进真空手套箱中，从而完成对空气敏感样品的扫描拍摄。本发明安全性较高、控制系统简单，稳定性高且可扩展性高。 |
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