| 萃取系统中使用的质谱仪或充电后的二次颗粒等带电粒子设备 |
| WOEP17053658 2017-2-17 发明申请 |
| 2017-8-24 |
| 本发明涉及用于二次离子质谱仪，其包括萃取系统。该系统(18)包括 : 内球形偏转扇区(42)；外球面偏转扇区(44)；偏转之间形成间隙(46)的扇区(42；44)；壳体(38)中的扇区(42；44)设置。偏转扇区(42；44)被偏置在减速电势以降低间隙进入偏转的离子束的能量(46)。该系统(18)还包括一个出口圆盘电极(64)被偏置在所述midvoltage的平均电压所述区段(42；44)，和两个侧板(68)的两个面对的球形扇区(42；44)，所述侧板(68)被偏压以产生静电场垂直于出口(24)。 |
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