| 一种共聚焦显微镜 |
| CN202021357790.6 2020-7-10 实用新型 |
| 2021-1-1 |
| 本实用新型属于显微镜技术领域，提供了一种共聚焦显微镜，包括激光器、第一准直透镜、第一半透半反镜、扫描成像单元、对焦单元、第二准直透镜、探测单元；第一准直透镜用于将入射激光调束成平行光束；第一半透半反镜用于透射入射激光和反射信号激光；扫描成像单元包括沿入射激光路径依次设置的扫描振镜、扫描透镜、第二半透半反镜、管透镜和物镜，第二半透半反镜用于透射入射激光和信号激光、以及用于反射从样品表面散射的照明光；对焦单元包括沿第二半透半反镜的反射光路依次设置的聚焦透镜和CCD相机；第二准直透镜用于将从第一半透半反镜上反射的信号激光调束成平行光束。本实用新型的共聚焦显微镜，光路简单、成本低，适合于工业领域使用。 |
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