| 萃取离子束的装置 |
| TW106141426 2017-11-28 发明申请 |
| 2018-8-1 |
| 一种能够不使用质量分析器磁体便从所萃取的离子束过滤出不需要的种类的装置所述装置包括具有腔室壁的离子源，由射频电压对所述腔室壁施加偏压利用射频萃取会使离子以不同的能量离开离子源，其中每一离子种类的能量与此离子种类的质量相关然後可只使用静电能量过滤器来过滤所萃取的离子束以除去不需要的种类静电能量过滤器可充当高通过滤器，以使能量高於某一阈值的离子到达工件作为另一选择，静电能量过滤器可充当低通过滤器，以使能量低於某一阈值的离子到达工件在另一实施例中，静电能量过滤器用作带通过滤器 |
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