| 包括用于光栅显微镜光栅显微镜的消息装置的测量装置及其处理方法 |
| DE102019134993 2019-12-18 发明申请 |
| 2020-12-24 |
| 本发明涉及一种具有用于扫描探针显微镜的测量装置(20)的装置，包括：样品保持器(26)，其被设置为接收用于扫描探针显微镜的测量样品(27)； 测量探头(23)。 其被接纳在探针保持器(21)上； 一种位移装置，其具有驱动器(24；25)，并且被布置成借助于驱动器(24；25)使样品保持器(26)和探针保持器(21)与用于扫描探针显微镜的测量探针(23)相对于彼此位移。 以及主动配重装置(30)，其具有配重(32)和与等效质量(31)相关联的驱动装置(32)， 其中，主动配重装置(30)被设置成使配重块(32)通过驱动装置(31)在与带有测量探头(23)的探头支架(21)的移动相反的方向上移动。 此外，提供了一种用于操作该装置的方法。 |
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