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扫描电子显微镜
US17008413 2020-8-31 发明申请
2020-12-24
一种扫描电子显微镜。 扫描电子显微镜可以包括在电子光学成像系统和样品载体之间的滑动真空密封件,其中第一板具有与电子光学成像系统相关联的第一孔径,并且抵靠在具有与样品载体相关联的第二孔径的第二板上。 第一板和/或第二板包括限定第一孔和/或第二孔的凹槽。 扫描电子显微镜可以包括相对于电子束可移动的检测器。 扫描电子显微镜可以包括用于沿着无碰撞路径移动样品载体的运动控制单元。
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