| 用于最小发散离子束的调谐装置 |
| US17348031 2021-6-15 发明申请 |
| 2021-12-23 |
| 一种离子注入系统具有配置成形成离子束的离子源。 质量分析器质量分析离子束，扫描元件在水平方向上扫描离子束，平行透镜将扇出的扫描束转换成平行移动的扫描离子束。 对于不仅需要平均入射角，而且需要高度对准的离子入射角和严格的角分布的应用，狭缝装置位于平行透镜的水平和/或垂直前焦点处。 离子束在工件上的最小水平和/或垂直角分布是通过控制扫描元件上游的光束聚焦透镜以使光束通过狭缝系统的最佳透射而获得的。 |
微信公众号