| 具有用于扫描探针显微镜的测量装置的装置，扫描探针显微镜和操作方法 |
| WODE20100516 2020-6-18 发明申请 |
| 2020-12-24 |
| 本发明涉及一种具有用于扫描探针显微镜的测量装置(20)的装置，包括：样品容器(26)，其被设计为接收测量样品(27)以用于通过扫描探针显微镜进行检查； 测量探头(23)，其被接纳在探头保持器(21)上； 重新定位装置，其具有驱动器(24；25)，并且被设计成通过驱动器(24；25)使样品容器(26)和具有测量探针(23)的探针保持器(21)相对于彼此重新定位，以便通过扫描探针显微镜进行检查； 以及主动配重装置(30)，其具有配重(32)和与配重(32)相关联的驱动装置(31)， 主动配重装置(30)设计成在测量操作期间借助于驱动装置(31)与具有测量探头(23)的探头保持器(21)的运动相反地移动配重(32)。 本发明还涉及一种用于操作该装置的方法。 |
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