| 一种飞行时间质谱仪的真空及高压保护系统 |
| CN202121870046.0 2021-8-11 实用新型 |
| 2021-12-17 |
| 本实用新型涉及一种飞行时间质谱仪的真空及高压保护系统。该系统包括：ARM处理器和现场可编程门阵列。ARM处理器与现场可编程门阵列连接。现场可编程门阵列分别与前级真空阀控制器、放气阀控制器、预抽阀控制器和高压电源控制器连接。ARM处理器用于实时获取飞行时间质谱仪中高真空规状态值和低真空规状态值。现场可编程门阵列用于根据低真空规状态值判断飞行时间质谱仪中的低真空规的工作状态，当低真空规的工作状态为关闭或异常时，现场可编程门阵列关闭飞行时间质谱仪中的高真空规。本发明通过采用ARM处理器和现场可编程门阵列的双控制模式，既能够简化系统结构，又能对高压进行实时关闭，进而实现高压电源的快速保护。 |
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