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扫描电子显微镜及分析方法

EP18248063 2018-12-27 发明授权

2020-12-23

一种带电粒子束装置，包括：多个检测单元，用于检测由样品衍射的带电粒子；以及强度图案信息生成单元，其基于从所述多个检测单元输出的多个检测信号的强度，生成将所述多个检测信号的强度表示为图案的强度图案信息。