| 一种用于质谱仪的真空进样装置 |
| CN202121256291.2 2021-6-4 实用新型 |
| 2021-12-10 |
| 本实用新型公开了一种用于质谱仪的真空进样装置，包括样品靶、靶板、进样舱、舱门和样品靶移动平台，所述舱门包括盖门和卡凸，所述卡凸设置在盖门下表面的中间位置，所述进样舱包括盖槽和卡槽，所述盖门刚好卡在盖槽内，所述卡凸刚好卡在卡槽内，所述卡槽的一侧侧壁上设有一排气孔，所述盖门一侧边通过转动件安装在盖槽的侧边，所述靶板处在卡槽的底部，所述样品靶放置在靶板内，所述样品靶移动平台能够推动靶板在进样舱下方和离子源之间来回移动。本实用新型将盖门和卡凸分别与盖槽和卡槽配合，在抽真空负压下，有效防止舱门移动或晃动，而且在抽真空时，真空度越高，舱门密封性越好，并有快速、高效的将样品靶在进样舱和离子源之间来回移动。 |
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