| 离子检测器 |
| US16281469 2019-2-21 发明申请 |
| 2019-8-22 |
| 本发明涉及一种离子检测器，其具有用于抑制离子检测器中的电子倍增机构中的随时间劣化的结构。 所述离子检测器包括用作电子倍增机构的倍增单元和具有电子倍增功能的半导体检测器，所述倍增单元倍增响应于离子的入射而发射的二次电子。 此外， 具有允许二次电子通过的开口的聚焦电极设置在二次电子的轨迹上，二次电子从倍增管单元朝向半导体检测器引导， 所述聚焦电极用于将二次电子从所述倍增管单元引导到所述半导体探测器的电子入射表面上。 |
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