| 用于校正原子力显微镜中的误差的方法和装置 |
| MYPI2012003385 2012-7-26 发明申请 |
| 2020-12-21 |
| 在某些实施例中，探针(208)扫描表面(210)以产生第一扫描。 第一扫描用于估计用于扫描表面(210)以产生第二扫描的垂直偏移。 在某些实施例中，AFM装置使用压电电压将探针(208)接合到表面(210)。 探头(208)扫描表面以产生第一扫描。 所述第一扫描被用于估计垂直偏移，使得所述探针使用所述垂直偏移。 压电电压接合表面(210)，用于在不同的垂直位置进行第二扫描。 图2 |
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