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聚焦式原子力显微镜
TW109100255 2020-1-6 发明授权
2020-12-21
聚焦原子力显微镜包括光发射器、会聚透镜、传感器和光检查装置。 所述光发射器被配置为朝向所述聚光透镜发射光,使得所述光在通过所述聚光透镜之后聚焦在焦点位置上。 在光通过聚光透镜之后,光被传感器反射,并进一步被光检测装置接收。 所述传感器用于感测待测器件的表面轮廓,所述光检测装置用于在接收到所述光后对应生成电学值,以使所述聚焦原子力显微镜显示所述待测器件的表面轮廓。
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