| 离子注入方法，离子注入装置 |
| JP2017226077 2017-11-24 发明申请 |
| 2019-6-20 |
| [A]不是异常离子注入装置。 [溶液]硼氢化铝离子发生容器22向气体供给装置21供给气体， 22被电离以在容器内形成等离子体，以产生离子，由质谱仪24，Al+和H+将B+从三种类型的阳离子离子中选择所需的一种通过质量分析器24引入照射对象15中。 绝缘材料为铝硼氢化物，即使离子化，离子发生容器22也不会发生离子发生室12的异常放电。 另外，可以用期望的阳离子注入来照射三种对象15，可以容易地改变注入到对象15中的离子的注入。 图1[附图] |
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