| 扫描探针显微镜的测量装置和利用扫描探针显微镜对测量样品进行扫描探针显微测试的方法 |
| CN202010561040.9 2020-6-18 发明申请 |
| 2020-12-18 |
| 提供了扫描探针显微镜的测量装置和利用扫描探针显微镜对测量样品进行扫描探针显微测试的方法。测量装置具有：容纳要测试的测量样品的样品容纳部；设置在探针支架上且具有探针尖的测量探针，探头尖能测量测量样品；对测量样品进行测量使测量探针和样品容纳部沿至少一个空间方向实施扫描运动的移位装置；与移位装置连接并控制测量探针和样品容纳部之间相对运动的控制装置；和传感器装置，对测量探针的运动和/或样品容纳部的运动以绝对测量的方式检测运动测量信号并将运动测量信号发送给控制装置，在测量探针与样品容纳部之间发生相对运动时实施测量探针和/或样品容纳部的运动。控制装置根据运动测量信号控制测量探针与样品容纳部之间的相对运动。 |
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