一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法
 
CN202010935741.4  2020-9-8  发明申请

2020-12-18
 
  本发明公开了一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法,该方法通过高能离子束(如氦离子)注入到针尖底部附近,使得针尖附件衬底材料发生隆起,从而引起针尖的倾斜,类似比萨斜塔效应,可以实现针尖的倾斜。通过控制离子束注入的剂量,可以控制隆起的体积,控制针尖倾斜的角度。该方法可以精确控制原子力探针针尖的倾斜角,控制纳米柱子之间的距离。
 
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