| 质谱仪用高精度集成气路控制装置 |
| CN202120774867.8 2021-4-16 实用新型 |
| 2021-11-12 |
| 质谱仪用高精度集成气路控制装置, 制底座(3)上侧安装质量流量控制器(1)，在质量流量控制器(1)前、后侧分别连接安装进气口(4)和出气口(13)，在进气口(4)顶部安装电磁阀(7)；在进气口(4)和出气口(13)上分别安装单向快速接头(6)，在进气口(4)前端连接安装压力开关(5)。大量节省的人工调试仪器的工序和工时，有效提高了质谱仪控制灵敏性能和分析效率，结构紧凑，便于集中检测，现场调试方便。减少了用工，大幅度提高了生产效率。提高产品出厂合格率。 |
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