| 离子探测器和质谱仪 |
| JP2021050697 2021-3-24 发明申请 |
| 2021-11-11 |
| “问题”提供长寿命的离子检测器。 “解决方案”离子检测器5包括第一二极管10,第二二极管20,闪烁体40,导电层46和光电倍增管50。 第一阳极10接收离子P3的入射并释放带电颗粒P4。 第二二极管20提供负电位,并接收来自第一二极管10的带电颗粒P4的入射以发射次级电子P5。 闪烁器40具有从第二二极管20入射的二次电子P5的电子入射表面42,并将二次电子P5转换为光。 导电层46设置在电子入射表面42上。 光电倍增管50检测来自闪烁体40的光。 图2是选择图。 |