| 微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法 |
| CN202110919009.2 2021-8-11 发明申请 |
| 2021-11-9 |
| 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法，微量气氛取样检测装置，包括中空的检测腔体以及真空系统，检测腔体与真空系统连通，检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪，测试装置与样品固定装置对应设置，样品固定装置用于固定设置样品，测试装置能够破坏样品的气密封，质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中，相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构，避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响，即使样品内的气氛气体很少，其也能够在检测腔体中充分扩散，使质谱仪能够获取并加以测试分析，本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。 |
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