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超快速电子显微镜

KR1020190068249 2019-6-10 发明申请

2020-12-18

电子枪发射电子束。电子束偏转磁体形成在电子束偏转磁体上。电子束偏转磁体被配置为在入射到电子束偏转磁体上的电子束沿着电子束偏转磁体中的弯曲轨迹路径行进之后从电子束偏转磁体发射。