离子检测器
 
US16281398  2019-2-21  发明申请

2019-8-22
 
  本发明涉及一种离子检测器,其具有用于抑制多模式离子检测器中的电子倍增机构中的随时间劣化的结构。 所述离子检测器包括倍频单元,包括具有电子倍增功能的半导体检测器的第一电子检测部分,包括电极的第二电子检测部分和栅极部分。 所述第一和第二电子检测部分能够以不同的倍增因子进行离子检测。 栅极部分包括至少一个作为栅极电极的末级倍增管,并且通过调节栅极电极的设定电位来控制指向第一电子检测部分的二次电子的通过和中断之间的切换。
 
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