| 复合式离子源、质谱分析装置和方法 |
| CN202110711175.3 2021-6-25 发明申请 |
| 2021-10-22 |
| 本发明提供了复合离子源、质谱分析装置和方法，所述复合离子源包括灯丝、磁铁以及真空紫外灯；第一真空室具有样品进口，所述灯丝设置在所述第一真空室的侧部，灯丝产生的电子在所述磁铁作用下进入所述第一真空室；第二真空室具有离子出口，所述真空紫外灯设置在所述第二真空室的侧部，所述第一真空室和第二真空室间具有连通通道；电子偏转电极用于偏转所述灯丝产生的电子，使得电子远离所述连通通道；反射镜用于反射所述真空紫外灯的出射光，驱动单元通过调整所述反射镜的位置而控制所述出射光进入所述第二真空室与否。本发明具有分析效率高、准确等优点。 |
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