| 一种质谱仪及其离子清洁装置 |
| CN202120421524.3 2021-2-25 实用新型 |
| 2021-10-22 |
| 本实用新型公开了一种质谱仪及其离子清洁装置，离子清洁装置包括激光器、与激光器连接的光路调节器以及安装于质谱仪的移动平台上的反射镜，反射镜的最高点低于质谱仪用于安装样品靶板的样品靶槽的最低点；反射镜水平设置于移动平台上、或倾斜朝向光路调节器一侧安装于移动平台上。工作时，移动平台带动反射镜移动至质谱仪的离子源底板下方，激光器的激光通过光路调节器发射至反射镜表面、被反射镜反射至离子源底板的底面，对离子源底板的残余离子进行轰击，从而确保离子源底板的长期干净，保证了质谱仪的检测灵敏度和分辨率。同时，离子清洁装置的设置避免了质谱仪拆机清洁，大幅降低了清洁成本和清洁时间，提高了清洁效率。 |
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