| 实时剂量控制的光学元件折射处光束电流推断的上游和下游电流测量值混合方法 |
| KR1020217026431 2020-2-17 发明申请 |
| 2021-10-21 |
| 离子注入具有由离子束形成和质谱分析组成的离子源及质谱仪。 折射元素位于上述质谱仪的下游； 第一和第二测量装置壳位于所述折射元件的下游和上游，由所述离子束的第一和第二离子束壳组成。 工作物扫描装置通过所述离子束扫描所述工作物。 控制部在所述工作物中确定所述离子束的注入电流，所述工作物扫描装置被配置成基于所述注入电流来控制所述工作物的扫描速度。 所述离子束的所述注入电流的上述决定，至少部分地基于所述第一离子束电流和第二离子束电流。 |
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