紧凑的质量光谱仪
 
WOGB14051641  2014-5-29  发明申请

2014-12-4
 
  一微型质量光谱仪是本发明公开了一种包括一个大气压力电离源,一第一具有一个大气压力的真空室取样孔或毛细管,第二真空室位于下游的第一真空室和一第三真空室位于下游的第二真空室。第第一真空泵是设置和适于泵第一的真空腔室,其中第一的真空泵是设置和适于在一压力保持第一真空室<10毫巴。一种第一内的RF离子导是位于第一真空室和一个离子检测器位于在第三真空室。所述的离子路径长度从所述大气压力取样孔或毛细管以一个离子检测该离子检测器的表面是mm≤400。所述质量光谱仪还包括一个串联四极质量分析仪,一种3D离子阱质量分析仪,2D或线性离子阱质量分析仪,一种飞行的时间质量分析器,一个四极-飞行时间质量分析器或第三真空室中设置一个静电质量分析仪。一种分体式流涡轮分子真空泵包括一中间或级间端口被连接到第二真空室和一高真空(“HV”)端口被连接到第三真空室。第一的真空泵是还设置和适于动作作为背衬真空泵到该分离流涡轮分子真空泵和第一的真空泵具有一最大泵送速度≤10m3/小时(2.78L/秒)。
 
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