| 一种基于透射电镜的样品表面结构成像方法 |
| CN201810352660.4 2018-4-19 发明授权 |
| 2020-12-15 |
| 本发明涉及材料表面结构表征技术领域，公开了一种基于透射电镜的样品表面结构成像方法，包括：制备透射电镜样品；获得样品的低放大倍数图像；获得样品表面结构的高放大倍数图像。该方法通过调节透射电镜物镜焦距来调控物镜取景深度和取景位置，利用物镜取景位置和有限的取景深度来强化样品表面结构信息的同时弱化样品内部结构信息，进而简单、快速并准确的获得真实反应样品表面结构的透射电镜图像，从而有效评价材料或器件的性能。本发明具有实施成本低、效率高、可操控性和重复性强、技术可靠性高等特点，适合于在固体表面研究领域的广泛应用。 |
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