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等离子体产生装置、具备它的发光分析装置及质谱分析装置、以及装置状态判定方法

CN201880046770.6 2018-6-14 发明申请

2020-3-17

高频电力供给部(2)向感应线圈供给高频电力。状态判定处理部(81)基于由高频电力供给部(2)向感应线圈供给的高频电力的频率的变化，来判定等离子体产生装置的状态。以向感应线圈供给的高频电力的频率的变化为基准来判定等离子体产生装置的状态，由此能够基于稳定的判定基准来更准确地判定装置的状态。