| 涡轮油泵和增压泵在同一轴上的-质谱检漏仪 |
| RU2019100225 2017-6-13 发明申请 |
| 2020-7-15 |
| 本发明公开了一种质谱检漏仪，其包括多级涡轮分子泵，连接到涡轮分子泵的吸入侧的质谱仪，连接到涡轮分子泵的压力侧的初步真空泵和增压泵级。 增压泵级的吸入侧具有用于测试对象的连接，压力侧通过气体管路连接到涡轮分子泵的压力侧和预真空泵的吸入侧。 涡轮分子泵级和增压泵级设置在一个共同的轴上并具有一个共同的驱动装置， 通过在增压泵级的压力侧和连接到质谱仪的涡轮分子泵的泵级的吸入侧之间的分离。 |
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