| 真空系统 |
| GB1422124 2014-12-12 发明申请 |
| 2016-6-15 |
| 真空系统，包括第一真空室13和第二的真空室12，第一真空室为由第一真空泵抽真空，第一和第二真空室通过通道连接，所述围成的通道密封装置包括内密封件115和外密封件114与增压室106位于内密封和外密封，上述压力通风系统抽真空的由支撑真空泵21(见图5)，并且其中至少一个内密封件的密封面由壁材2，第一或第二的真空室3。优选通过直接接触内形成密封壁材3，第一之间的真空室壁材料2的第二真空室。另外，本发明涉及质谱分析系统。真空室可以由铝形成。外密封件可以是O环。第二真空室可以包括加热元件。 |
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