质谱仪
 
JP2020560714  2018-12-19  发明申请

2021-9-27
 
  设置在第一中间真空室中的离子导向器(20)包括六个棒电极(211至216)和电压生成单元。 六个棒电极(211~216)在离子入射侧呈六极配置,两个棒电极(211、214)随着向离子输送方向前进而以接近中心轴(201)的方式相对于Z轴倾斜,从而四个棒电极(211、214、215、216)呈四极配置。 电压产生部在围绕中心轴(201)的六个棒状电极(211~216)中的相邻的棒状电极之间施加相位彼此反转的射频电压±V cos ω t,对四个电极(211、214、215、216)施加使离子优异地通过的直流电压U1,对另外两个棒状电极(212、213)施加与U1不同的直流电压U2。
 
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