| 光掩模坯料用基板的容器，用于存储光掩模坯料及光掩模坯料用基板输送方法 |
| EP17000590 2017-4-6 发明申请 |
| 2017-10-11 |
| 光掩模坯料用基板的容器，其包括内部构件具有一内盒和一保持构件，容器主体具有下盒和上盖，和密封带，在容器主体和所述内部构件包括聚合物基材料，其中当在0.1克其样品保持在40℃的60分钟释放的出气组件，总量的出气通过气相色谱质谱联用仪检测NG为1.9×或更低，N-杂环，与密封带为材料，其中，当尺寸为10×10；其样品保持在150℃10分钟以释放放气组件，一种总量的释气检测的气相色谱质谱仪为1.8×103或更低，N-烷。此光掩模坯料用基板的容器可以储存和运输，同时抑制影响的光掩模坯料用基板的抗蚀剂图案。 |
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